行业知识

• 2023-06-28 11:09:41

  射频离子源

  射频离子源的工作原理图如图2-25所示。工作气体通过一个专门设计的气体绝缘器进人石英放电室，以1356MHz的射频功率通过电感合进入放电室离化工作气体，形成等离子体。等离子体中的正离子，在通过三层栅网时，先后经历加速和减速两个过程，被成功聚焦加速，形成正离子束。 中和器...

• 2023-06-29 10:22:33

  APS离子源

  APS离子源的内部如图2-27左图所示。离子源在工作过程中，石墨加热器首先给阴极（LaB6）加热，电子会从阴极发射出来，并向阳极运动。磁场线圈通电后产生磁场。电子加速运动穿过磁场，磁场在垂直于电子运动方向上施加洛伦兹力，电子绕着磁感线螺旋向上运动，大大增加了电子与Ar原子碰...

• 2023-07-04 10:08:41

  影响热蒸发镀膜质量的工艺参数

  薄膜的性质和结构主要决定于薄膜的成核与生长过程，实际上受许多淀积参数的影响，如淀积速率、粒子速度与角分布、粒子性质、衬底温度及真空度等。因此，在气相沉积技术中，为了监控薄膜的性质与生长过程，必须对淀积参数进行有效的测量与监控。在所有沉积技术中，淀积速率和膜厚是最重要的薄膜淀...

• 2023-07-05 10:14:36

  膜厚的分类

  所谓薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的 1~10的原子层或分子层。在此方向上，薄膜具有微观结构。 厚度是指两个完全平整的平行平面之间的距离，是一个可观测到实体的尺寸。因此，这个概念是一个几何概念。理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观...

• 2023-07-06 10:36:07

  三种膜厚的测试方法

  在形状膜厚的测量方法中，触针法和多次反射干涉法最常用，由它们所确定的膜厚，确实是由表面的形状所决定。在质量膜厚测定中，天平法最常用，但难以实现自动测试，为此多采用石英晶体振荡法代替。一般说来，只要厚度随薄膜物性变化，都能用于物性厚度的测量。并且由于这种方法的灵敏度高、测试容...

• 2023-07-11 10:33:14

  微量天平法

  微量天平法这个方法是建立在直接测定蒸镀在基片上的薄膜质量基础之上。因此，所使用的天平必须满足专门的要求，具有足够的灵敏度，机械上是刚性的，在较高温度下易于除气并有非周期性的阻尼特性。 它是将微量天平设置在真空室内，把蒸镀的基片吊在天平横梁的一端，测出随薄膜的淀积而产生的...

• 2023-07-12 10:37:20

  石英晶体振荡法

  石英晶体振荡法 这是一种利用改变石英晶体电极的微小厚度，来调整晶体振荡器的固有振荡频率的方法。利用这一原理，在石英晶片电极上淀积薄膜，然后测基固有频率的变化就可求出质量膜厚。由于此法使用简便，精确度高，已在实际中得到广泛应用。此法在本质上也是一种动态称重法。石英晶片的固有振动...

• 2023-07-13 09:55:50

  电学方法 -电阻法

  电阻法由于电阻值与电阻体的形状有关，利用这一原理来测量膜厚的方法称电阻法。电阻法是测量金属薄膜厚度最简单的一种方法。由于金属导电膜的阻值随膜厚的增加而下降，所以用电阻法可对金属膜的淀积厚度进行监控以制备性能符合要求的金属薄膜。但是，随着薄膜厚度的减小，电阻增大的速率比预料的要大。...