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西格玛光机10nm反馈平台代理
品牌:西格玛光机
产地:日本
产品简介:
FS-PX是具有10nm分辨率定位的反馈级。
内部光学线性编码器内置在平台中心,以检测位置。
利用编码器的位置信息进行反馈控制,实现定位到目标位置、定位重复性和高分辨率的定位。
阶段有五种类型。 它是理想的收集数据在广泛的范围内,或执行精确的定位和移动样品在一个单一的阶段由大的行程范围。
规格 | ||||||
零件编号 | fs-1020px | fs-1050px | fs-1100px | FS-3150px | fs-3200px | |
JP价格[¥] | 350,000 | 450,000 | 550,000 | 750,000 | 770,000 | |
机械规格 | 行程[mm] | 20 | 50 | 100 | 150 | 200 |
台面尺寸[mm] | 60×60 | 120×120 | 120×120 | 120×170 | 160×230 | |
丝杠[mm] | 滚珠丝杠直径φ4 导程1毫米 | 滚珠丝杠直径φ6 导程1毫米 | 滚珠丝杠直径φ6 导程1毫米 | 滚珠丝杠直径φ8 导程1毫米 | 滚珠丝杠直径φ10 导程2毫米 | |
导轨形式 | 十字滚轮 | 十字滚轮 | 移动导轮 | 移动导轮 | 移动导轮 | |
主要材料 | 铝合金 | |||||
表面处理 | 黑色阳极氧化 | |||||
电机类型 | □28mm5相步进电机 | |||||
重量[公斤] | 0.5 | 1.6 | 2.1 | 2.8 | 5 | |
精确规格 | 定位精度 [nm]=1 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
重复定位精度 [nm]1 | +/- 20 | +/- 20 | +/- 20 | +/- 20 | +/- 20 | |
承重[N] | 49(5kgf) | 98(10kgf) | 98(10kgf) | 98(10kgf) | 196(20公斤) | |
运动平行度 [μm] | 10 | 10 | 10 | 10※2 | 10※2 | |
最大速度[毫米/秒] | 10 | 10 | 10 | 10 | 20 | |
传感器 | 极限位置传感器 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 |
减速传感器 | 无 | 无 | 无 | 无 | 有 | |
原点传感器 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | |
接近原点传感器 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | |
配件 | 信号循环 | 4μm | 4μm | 4μm | 4μm | 4μm |
刻度电缆(3) | 2米 | 2米 | 2米 | 2米 | 2米 |
1:内置刻度读取的最小分辨率和重复定位精度。
2:每100毫米旅行运行并行性。
刻度电缆直接从平台上出来。 如果2米或更长的电缆,请分别准备“扩展电缆
都是必需的。