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台面尺寸：60×60mm；
运动平行度：10μm；
行程：20mm；
重定位精度*1：±10nm；
最小分辨率*1： 5nm；
最大移动速度：5mm/sec；
自重：0.5㎏；
线杠：滚珠丝杠直径φ4mm、导程1mm；
承载能力：49N(5kgf)；
注：可多轴，也可组合。
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