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产品介绍
由2枚或3枚球面透镜的组成,校正了球差和慧差。
也可以作为KrF准分子激光(248nm),YAG激光的4次谐波(266nm),3次谐波(355nm)的聚光透镜使用。
NA0.1以下的透镜,对准直激光成像后的焦点光斑直径几乎接近衍射极限。(ETL为0.25以下)
▶承接制造产品目录之外的高能量脉冲激光或指定波长的产品。
▶按照客户技术指标,可以进行数百个量级的批量生产。
▶为了保护透镜以避免被激光加工时溅出的粉末所损伤,可以配置另外销售的保护窗玻璃。
▶关于各波长的焦距,请参考网页的[焦距随波长变化关系表]。
▶聚光透镜令无限远物体成像于焦点位置,或将点光源转化为平行光。如果要对近距离的物体进行成像,透镜的光学性能将不能得到充分发挥。
▶入射光要从指定方向进入聚光透镜,一定要使平行光从上面(刻图章为正立文字)入射到透镜中。如果入射光从反方向射入透镜,将导致球差恶化,焦点光斑变大,成像模糊。
▶在设计波长之外的条件下使用时,导致球差恶化,透过率降低。
▶使用大功率激光器,或在热源附近使用时,可能导致聚光透镜温度升高,焦距变化。如果长时间使用时一定要有良好的散热措施。
▶这个聚光透镜不是消色透镜,没有校正色差。
▶透镜的表面反射(4%)将造成约有20%的透过损失。
材质 | 准分子激光用合成石英(空气隙) |
镜筒材质 | 铝合金 表面处理:阳板氧化发黑 |
设计波长 | 248nm |
镀膜 | 无镀膜 |
入射容许角 | ±1° |
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