行业知识

• 2022-07-26 10:06:04

  紫外光学材料-水晶

  水晶（Rock-crystal，矽石）属于石英“家族”中显晶质一类，化学成分为二氧化硅（SiO2），为透明的石英晶体，一般无色，透光范围为0.14~6μm，折射率为1.533~1.544。按其特征及工业用途分为压电水晶、光学水晶、熔炼水晶及工艺水晶等四种。

• 2022-07-27 10:11:45

  紫外光学材料-萤石

  萤石（Fluorite，氟石），化学成分为氟化钙（CaF2），透光范围0.123~9μm，折射率约为1.4。萤石中含有少量的稀土族元素（钇、铈），把萤石敲碎或摩擦生热时，稀土族元素受到刺激后，产生绿蓝色系列的萤光反应，故把此种矿石以萤石来命名。

• 2022-07-28 11:09:36

  紫外光学材料-透紫外光学玻璃

  近年来，各国先后开发了透紫外光学玻璃。国产的紫外光学玻璃有两类：一类是截止型和透射性，前者是包括紫外光、可见光及波长大于的波段均能通过。如图1所示，以ZW表示，具有紫外透射可见吸收玻璃特性，如ZWB1,ZWB2和ZWB3等。 在国外重要玻璃公司均有对应玻璃牌号，如国...

• 2022-08-02 10:10:46

  紫外光学材料-紫外光学石英玻璃

  我国已有紫外光学石英玻璃生产，如光学石英玻璃窗口片，能耐高温和高压。以JGS标示该类玻璃，主要有以下三种：JGS1为远紫外光学石英玻璃，它是用高纯度氢氧熔化的光学石英玻璃，具有优良的透紫外性能，特别是在短波紫外区，在185cm处的透过率可达90%，是185-2500nm波段...

• 2022-08-03 10:11:40

  紫外光学材料-德国Shott公司的紫外玻璃

  德国Shott玻璃公司开发出两种紫外玻璃LITHOSIL-Q和LITHOTEC-CAF2，分别在260nm和250~2500m均有很高的内透过率。所谓内透过率（Ti，ti），就是完全校正发射损失和任何窗口的吸收后，通过样品的辐射能与入射的辐射能的比值。“校正”表面反射损失的...

• 2022-08-04 10:01:52

  紫外光学材料-日本Ohara公司的i-line玻璃

  日本Ohara公司开发了i-line玻璃，宣布一个UV透射型玻璃族。在紫外、可见和红外波段均可透过，而在i-line（365nm谱线）附近有很高的内透过率。

• 2022-08-09 11:39:49

  反射式光学系统-奥凡纳（Offner）物镜

  奥凡纳（Offner）物镜 如图1所示是一种深紫外（DUV）投影光学系统。奥凡纳物镜的设计非常精巧，它产生一个环形视场，环形视场内所有像差都被校正近于零（光学系统结构参数略）。该系统的原始专利在1973年被批准（USP3748015）,简述如下： 将凸球面反射镜和凹球面反...

• 2022-08-10 10:01:37

  反射式光学系统-施瓦氏希尔德（Schwarzschild）反射型显微物镜

  1985年开始报道了紫外光学系统设计用于EUVL。1989年由Kinoshita等人用一个倍率小于1的施瓦氏希尔德反射型物镜光学系统，以同步加速器辐射作为光源的第一个实验结果达到0.5的分辨率。该光学布置如图1所示。1990年Bjorholm等人也使用施瓦氏希尔德物镜和同步...