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  • 弧光放电区: 异常辉光放电时,在某些因素影响下,常有转变为弧光放电的危险。此时,极间电压陡降,电流突然增大,相当于极间短路。且放电集中在阴极的局部地区,致使电流密度过大而将阴极烧毁。同时,骤然增大的电流有损坏电源的危险。弧光放电在气相沉积中的应用,仍在进一步研究之中。

  • 2023-08-09 10:53:36

    溅射镀膜工艺-辉光放电

    辉光放电: 当放电容器两端电压进一步增加时,汤森放电的电流将随着增大。当电流增至 C点时,极板两端电压突然降低,而这时电流突然增大,并同时出现带有颜色的辉光,此过程称为气体的击穿,图中电压 VB称为击穿电压击穿后气体的发光放电称为辉光放电。这时电子和正离子是来源于电子的碰...

  • 非正常辉光放电区: 在轰击覆盖住整个阴极表面之后,进一步增加功率放电的电压和电流密度将同时增大,进入非正常辉光放电状态。其特点是:电流增大时,两放电极板间电压升高,且阴极电压降的大小与电流密度和气体压强有关。因为此时辉光已布满整个阴极,再增加电流时,离子层已无法向四周扩散这...

  • 2023-08-01 10:51:16

    溅射镀膜机理介绍

    所谓“溅射”是指荷能粒子轰击固体表面 (靶),使固体原子(或分子)从表面射出的现象。射出的粒子大多呈原子状态,常称为溅射原子。用于轰击靶的荷能粒子可以是电子、离子或中性粒子,因为离子在电场下易于加速并获得所需动能,因此大多采用离子作为轰击粒子,该粒子又称入射离子。由于直接实...

  • 直流辉光放电 溅射是辉光放电中产生的,因此,辉光放电是溅射的基础。辉光放电是在真空度约为 10~1Pa 的稀薄气体中,两个电极之间加上电压时产生的一种气体放电现象。气体放电时,两电极间的电压和电流的关系不能用简单的欧姆定律来描述因为二者之间不是简单的直线关系。图 2-39 ...

  • 2023-08-03 10:39:00

    溅射镀膜工艺-无光放电

    无光放电: 由于在放电容器中充有少量气体,因而始终有一部分气体分子以游离状态存在着。当两电极上加直流电压时,这些少量的正离子和电子将在电场下运动,形成电流。由于气体分子在这种情况下的自然游离数是恒定的,所以,当正离子和电子一但产生,便被电极拉过去。即使再升高电压,到达电极的...

  • 汤森放电区: 在两极电压逐渐升高,电子的运动速度逐渐加快,电子与中性气体分子之间的碰撞不再是低速时的弹性碰撞,而是使气体分子电离。电离为正离子与电子,新产生的电子和原有电子继续被电场加速,使更多的气体分子被电离,于是在伏安曲线上便出现汤森放电区。 无光放电和汤森放电两种...

  • 2022-01-25 10:28:22

    目视光学系统

    目视光学系统是以人眼为接收器的,它包括两个典型的系统:显微系统和望远系统。其中,显微系统在“微观世界”中扩展人眼对目标细节的分辨能力;望远系统在“宏观世界”中扩展人眼对远处目标的识别能力。由这两类光学系统输出到人眼的图像必须达到人眼的分辨率,才能达到清晰观察目标的目的。在目...

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