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光学平台-摆动平台精度测量
作者： 发布时间：2020-04-20 17:47:09点击：516
摆动平台精度测量
位置精度
重复定位精度
在平台的任意位置，从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的最大值。
定义其数值中的最大值为重复定位精度。
摆动中心高度
从理想摆动中心到上台面的距离。
摆动中心位置精度
摆动平台在全行程动作过程中，实际摆动中心位置与理想中心位置的最大偏差范围。
空行程
在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。
定义其中的最大值为空行程。
姿态精度
扭矩刚度
我们定义在单位扭矩负载下的平台的角位移为其扭矩刚度。
最小位移量（MIM）
我们定义在平台的3个特定位置（两端和正中间）进行定位时，可实现的最小移动分辨率为最小位移量。
验证方法：分别在各个位置上，指令平台沿正方向和负方向分别移动10个点并测量相应的移动量。
测量时，分别使用了精密小位移传感器和自动准直仪。
（参考数据）最小位移量（MIM）OSMS-60A60
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