光学平台-直线运动平台的精度测量

作者：发布时间：2020-04-16 17:30:48点击：886

直线运动平台的精度测量

位置精度

定位精度

从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其最大值和最小值的差为定位精度。

空行程

在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的最大值为空行程。

重复定位精度

在平台的任意位置（两端或中心等），从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的最大值。定义其数值中的最大值为重复定位精度。

传动副间隙

在平台的任意位置（两边·中心等），向正方向或负方向加载一定推力，我们定义其2个方向的偏移量的总和为传动副间隙。

动作精度

运动平行度

我们定义平台在全行程范围运动时，台面在高度方向的偏移量为运动平行度。

XY垂直度

以XY轴平台的X轴为基准，这时用直角尺测量Y轴方向在动作中的位移量。这个偏移量杯定义为XY垂直度。

Z轴垂直度

在Z轴平台上设置千分表，并测量与某一基准垂直台间的相对偏移量。我们定义这个偏移量为Z轴垂直度。

（参考值）测量结果 (HPS60-20X)

结果

最大空行程：1.10µm

平均空行程：0.62µm

重复定位精度

单向定位精度 ↑ 0.77µm

↓ 0.62µm

定位精度：2.97µm

以上资料由誉立整理发布，旨在供大家学习之用，部分素材来自网上，如有侵权，请联系删除。

我公司是专业的光学平台厂家，光电实验室建设元器件和仪器供应商，主营产品有：光学平台、显微镜、光刻机、电流体喷印、空间光调制器、高光谱仪、荧光光谱仪、光谱分析仪、相机、反射镜、透镜、物镜等全系列光电产品，是世界顶级元器件厂家-日本西格玛光机的中国代理商，并提供光机件定制服务，一件就起订，欢迎联系咨询。