西格玛光机-镀膜-电介质膜

电介质膜

电介质材料无色透明，没有像金属那样大的反射或吸收。 如果选择适当的材质和膜厚，在玻璃基板，薄膜和空气的分界面会产生干涉效果，可以得到特定的透过率·反射率的波长特性。

单层防反射膜

光线射入玻璃基板时，会产生4%左右的反射而造成透过率的损失。但是，通过在玻璃基板上蒸镀比玻璃的折射率更低的电介质膜，可以改变玻璃基板的反射率。

调节电介质膜的厚度使其光程（折射率n×膜厚d）为λ/4时，可以相互抵消玻璃基板和电介质膜，电介质膜和空气的分界面的反射，将反射率降到最低。

但是，由于折射率受到薄膜材料的限制，所以反射率不能完全为零。而且，由于受玻璃基板折射率的限制，所以并不是所有玻璃基板都能得到防反射效果。

单层防反射膜（SLAR）反射率的波长特性                单层电介质防反射膜的结构示意图

多层防反射膜

由于单层膜材料的选择范围很小，而且玻璃基板会残留一些反射。因此，通过重叠蒸镀几层薄膜，即使使用很少的薄膜材料也可以得到最佳的防反射效果。

此外，可以改变薄膜的构成，制造出降低特定波长的反射率的窄带防反射膜（NMAR），或制造出在宽波长谱区降低反射率的宽带防反射膜（MLAR）。

窄带防反射膜（NMAR）反射率的波长特性            宽带防反射膜（BMAR）反射率的波长特性

多层电介质防反射膜的结构示意图

多层反射膜

在玻璃基板上交替重复地蒸镀折射率较高的电介质膜和折射率较低的电介质膜时，可以得到反射率非常高的反射膜。

高折射率和低折射率的分界面会产生很少的反射。

由于每层的电介质膜的厚度都调节为λ/4的光程（折射率n×膜厚d），在各层上反射的光线的相位相同，反射将相互合成加强。相反，经过多重反射向透过方向前进的光线则相互抵消变为零。

如果电介质膜的层数足够多，入射光线会逐渐减弱，变得几乎不能透过。

衰减的光线将全部转为反射光。由于电解质膜没有吸收，入射的光线将没有损失，成为100%的反射光。

多层电介质膜（DML）的反射率的波长特性

通过改变多层膜的构造，可以附加某些特殊的效果。例如扩宽波长区域，相反地使透过谱区变得非常窄，使其它的波长谱区的光线不能透过，设定反射率为任意值等，可以根据需要设计各种薄膜。

多层电介质高防反射膜的结构示意图