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光学元件综合介绍-面精度
作者： 发布时间：2025-02-12 10:02:53点击：6
面型精度采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的干涉仪来测量，所以也被称为反射波面精度。面型精度的干涉条纹数的单位是[λ]。
λ是干涉仪所使用的氦氖激光器的波长632.8nm。
另外，表征面型精度有两个参数：PV和RMS值。
PV值是Peak to Valley（峰值与谷值的差值），RMS值是Root Mean Square（均方根值），根据经验RMS值是PV值的1/3左右。
因为象平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示，所以本产品目录中的面型精度使用PV值表示。例如，面型精度的PV值是1/2λ时，表示与理想平面的最大偏差值是316.4nm。
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