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光学薄膜检测技术-阈值测试过程
作者： 发布时间：2023-11-29 10:05:10点击：271
光学薄膜检测技术-阈值测试过程
在测试之初，首先要粗测出损伤阙值的大概范围，这时每次辐照的激光能量由大到小分成若干台阶，直到阈值附近(即不出现损伤为止)，每个台阶能量密度降低2~5J/cm²。
在确定阈值的大概范围后，就要较为精细地测出阈值的确切值。此时在粗测阈值的附近更细地分出4~5个台阶(在我们的实际测试中，为了增大数据的可信度我们常常取 10个台阶)，每个台阶辐照5~10个点，各台阶的能量密度增幅为0.25J/cm²，重复测试直到测试数据中包含：连续两个台阶能量密度辐照不引起样品损伤 (即零破坏概率)，以及至少一个能量密度台阶上损伤概率在 60%以上。测试时每个辐照点之间的间隔至少是3 倍于激光的光束直径，以保证任何辐照点的损伤状况不受相邻辐照点影响，辐照各点的阵列排列以及能量密度分级排列如图3-9所示。
光学薄膜的损伤的判别应通过具有 Nomarski干涉偏光效果的显微镜观察，并且放大倍数至少达到 100 倍以上。在上述条件下观察到的样品表面发生的永久性变化均界定为损伤，一般以层裂、熔融、形变和色斑等形式表现。
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