光学薄膜检测技术-激光损伤测试装置

作者：发布时间：2023-11-23 10:01:38点击：270

光学薄膜检测技术-激光损伤测试装置

光学薄膜损伤标准测试装置示意图如图 3-8 所示，采用确定波长、脉宽、偏振态及 TEM00 工作模式的高能量脉冲激光器作为测试激光器，激光器被放置在固定光学平台上，光束垂直入射到薄膜样品，通过衰减器调节损伤激光器辐照到样品的能量大小。另一台 He-Ne 激光器用来作为光路准直之用。

光学薄膜损伤标准测试装置示意图

在测试光路上，采用分束镜分出一束光束，使之进入光束探测装置，以观测损伤激光器的输出能量、波形、脉宽、偏振态等参数。另外，还需要配备光束检测系统对激光辐照前后的样品表面进行观察，以判断损伤与否。

在损伤测试中，光学薄膜样品被放置在垂直于入射光束的x-y精密调整架上，以实现被测薄膜样品不同辐照点之间获得统一的间隔距离。为了防止激光被样品反射再次进入激光源，应该保留 1°~2°的离轴误差。