光学薄膜检测技术-基于于涉型的光谱分析系统

作者：发布时间：2023-11-08 10:01:33点击：203

红外光谱仪主要是指在光谱 2.5~25um 区域进行光谱测试分析的仪器。在红外区域，人们往往采用波数来表示光波的波长 (波数是波长的倒数，单位为cm-')。色散型红外光谱仪器的主要不足是扫描速度慢，探测器灵敏度低，分辨率低。因此，目前几乎所有的红外光谱仪都是傅里叶变换型的。红外傅里叶变换光谱仪 (IR-FT) 是基于干涉原理的光谱分析系统，主要应用于红外光谱区域是红外波段的主要光谱分析仪器。

红外傅里叶变换光谱仪的基本原理是:应用麦克尔逊干涉仪对不同波长的光信号进行频率调制，在频率域内记录干涉强度随光程差改变的完全干涉图信号并对此干涉图进行傅里叶逆变换，得到被测光的光谱。图 3-4 为该类型仪器的工作原理示意图。

红外傅里叶光谱仪工作原理图