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溅射镀膜工艺-动量转移理论
作者: 发布时间:2023-09-07 10:52:37点击:341
动量转移理论 对于溅射特性的深入研究,各种实验结果都表明溅射完全是一个动量转移过程。现在,这一观点已成为定论,因而,溅射又称为物理溅射。
动量转移理论认为,低能离子碰撞靶时,不能从固体表面直接溅射出原子而是把动量转移给被碰撞的原子,引起晶格点阵上原子的链锁式碰撞。这种碰撞将沿着晶体点阵的各个方向进行。同时,碰撞因在原子最紧密排列的点阵方向上最为有效,结果晶体表面的原子从邻近原子那里得到越来越大的能量,如果这个能量大于原子的结合能,原子就从固体表面被溅射出来。动量转移理论能很好地解释热蒸发理论所不能说明的(如溅射率与离子入射角的关系、溅射原子的角分布规律等)规律。
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