多层增透膜

作者：发布时间：2023-02-16 14:51:04点击：278

双层增透膜的特性比单层膜要优越得多。但是，在许多应用例子里，即使是一个理想的双层膜，还是会形成过大的反射率或不适宜的光谱带宽度。因此，在这些例子中都要用三层或者更多层的增透膜。许多多层增透膜是由1/4波长层或半波长层构成的，可以看作是λ₀/4-λ₀/2W型膜和λ₀/4-λ₀/4V型膜的改进形式。

λ₀/4-λ₀/2W型膜在低反射区的中央有一个反射率的凸峰，它相应于单层减反射膜的反射率极小值。为了降低这个反射率的凸峰，又要保持半波长层的光滑光谱特性，可以将半波长层分成折射率稍稍不同的两个1/4波长层。例如，对于下面所示的一个结构

1.0 | 1.38 | 1.90 | 1.52

| λ₀/4 | λ₀/2 |

可以改变成

1.0 | 1.38 λ₀/4 | 2.0λ₀/4 | 1.90λ₀/4 | 1.52

于是在参考波长λ₀处的反射率由1.26%减少至0.38%，当然，低反射区的宽度也显著地减小了。

为了增加低反射区的宽度，可以在基地上附加一层低折射率的半波长层，也可以在双层V型膜的基础上构造多层增透膜，例如，在λ₀/4-λ₀/4V型膜的中间插入半波长的光滑层，可以得到典型的λ₀/4-λ₀/2-λ₀/4三层增透膜结构。

总的来说，多层组合的各个参数对反射特性的影响可归纳为：调节间隔层的厚度，即变化 | π-θ | 曲线的位置和形状，可以使反射率极小值移到不同的波数位置上。改变第一层或第二层的厚度，可以使R₁曲线相对于R₂做水平移动，其结果就是改变低反射光谱的宽度以及反射率R；利用不同的折射率值n₁和n3，可以使R₁和R₂曲线做相对的垂直移动。