傅里叶变换型光谱仪是什么？

作者：发布时间：2021-05-25 10:00:00点击：969

傅里叶变换型（FT）光谱仪通常用于红外吸收或发射光谱的测量，通过对探测器得到的干涉图进行傅里叶变换获得待测光谱，具有信噪比高、尺寸小、成本低的优势。根据干涉仪内的光程长度随时间变化的机制分为移动式和固定式两种。

移动式基于迈克尔逊干涉仪（图1A），利用静电、电磁或电热驱动的微机电系统操纵反射镜，难以与平面光源集成且光谱分辨率受限于驱动器的行程。固定式基于马赫-曾德干涉仪，入射光被分成不同光路产生相位差，或利用干涉仪阵列形成空间外差（图1B），但这种光谱仪尺寸受限于光程差和干涉仪个数。

在此基础上，利用电光调制效应的单个可调干涉仪得到了进一步发展，如基于热光学效应的铌酸锂波导（图2）和采用光子电路的数字干涉仪，其分辨率取决于路径的数量或光谱通道数，并且利用压缩感知、机器学习等方法能够提高光谱分辨率并校正温度和加工误差的影响。

利用热光学效应的可调傅里叶变换型光谱仪.jpg

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