RLE-RI03 光学薄膜测量综合实验

实验简介

　　伴随着21世纪初光电子技术的雪崩式发展，光学薄膜器件的应用向着性能要求和技术难度更高、应用范围和知识领域更广、器件种类和需求数量更多的方向迅速发展。为了使学生适应发展需求、拓展知识范围、增加知识深度、开阔视野和提升能力，RealLight®开发了光学薄膜测量综合实验，针对市场上常用的镀膜片进行研究，从镀膜的原理到实际样品的测试，逐步深入，是学生了解光学镀膜原理和应用的必然之选。

实验内容

1、光谱仪的原理与使用实验；

2、白光干涉测薄膜厚度实验；

3、镀膜介质折射率测量实验；

4、单层膜特性模拟实验；

5、减反射膜模拟与测试实验；

6、增反射膜模拟与测试实验；

7、截止滤光片模拟与测试实验；

8、带通滤光片模拟与测试实验；

9、分光镜模拟与测试实验；

10、带通滤光片的角特性实验。

知识点

减反射膜、加反射膜、金属膜、分光镜、二向色镜、带通滤光片、白光干涉、薄膜测厚、能量比、反射率、透过率

选配设备参数

计算机（基本配置）。

主要设备参数

1.光源组件：

尺寸：190x150x66mm，光谱范围：360-2500nm，输出灯泡：6Watts（3.5mW after 400umfiber），稳定性：0.2% RMS，漂移：0.3% per hour，稳定时间：15min，寿命：2000hrs（灯泡），色温：3000K，工作温度：5~40℃，温度要求：5%~95%，供电：220V/AC，输出方式：SMA905，工作模式：恒流、缓启动功能。

2.探测器组件：

波长范围：350~1000nm；光学分辨率：1nm；狭缝：25μm；光纤连接器：SMA905；探测器： 2048像元阵列CCD，每个像元14um×200um；信噪比：2000：1；全光谱；A/D分辨率：12bit；积分时间：4ms~6.5s；USB通讯与供电，无需外部电源；通过CE认证；具备外触发功能；功耗：250mA，5VDC；尺寸：91mm×60mm×34.5mm；重量：0.3kg。

3.薄膜测试样品：

减反射膜：镀单层氟化镁，全波段增透，透过率增加3%；

介质高反膜：最大反射率95%，基材：青板；45°入射；

二向色镜：透红绿反蓝，透红反绿；S1面AR膜420-680nm@R<1%，S2面二向分光膜；工作波段透射平均值T>95%，工作波段反射平均值R>95%；

带通滤光片：IAD多层介质硬膜，波峰透过T>85%，带外截止深度OD2-OD4；

分光镜：工艺方式IAD多层介质硬膜；S1面，AR膜工作波段镀AR膜，R<0.5%；S2面，分光膜；工作波段镀分光膜，误差±2%。

4.辐射式积分球：

使用高反射率漫反射涂料SpectraflectÒ，有效光谱范围：350-2400nm，反射率>98%@600nm，热稳定性100℃，激光损伤阈值1.7J/cm2，内径50mm，两开口，采样口配置防尘盖和SMA905适配器，矩形外形设计，便于加持使用。

5.反射式光纤：

反射式光纤跳线：探头端部采用6绕1光纤束设计，6根照明光纤，中央1根光纤收集反射光；

光纤芯径：200μm；数值孔径：0.22NA；长度：2m长；铠甲护套；SMA905接头。

6.光纤准直镜：

适用波段：200~2500nm，Φ6mm通光口径，SMA905接口，焦长12.7mm，带微调；

7.光纤跳线：

光纤芯径：400μm；数值孔径：0.22NA；长度：100±10cm；3mm铠甲护套；SMA905接头。

8.软件：

8-1薄膜测厚软件：包含光谱预处理方法、回归算法、拟合算法、傅立叶变换信号处理算法、最小二乘算法，分步测量引导，薄膜测量厚度范围50nm~50μm。

8-2镀膜仿真与设计软件组件

1）主界面4大功能分区，包括单层膜、减反射膜、介质高反膜和滤光片；

2）均可设置基底、介质和介质折射率，改变参数，反射率透过率曲线实时更新。

9.实验手册及保修卡。